4月18日,能源学院2022级博士生安巧如在2025年举行的第十届国际动量、传热传质会议(10th World Congress on Momentum, Heat and Mass Transfer, MHMT 2025)上荣获最佳论文奖,报告论文为《带线圈磁控溅射中粒子沉积的数值研究》(Numerical Study of Particle Deposition in Magnetron Sputtering with Electromagnetic Coil),通讯作者方海生教授。
MHMT大会由国际学术组织International ASET Inc.主办,包括流动与传热实验与数值(ENFHT)、多相流与传热(ICMFHT)、燃烧科学与过程(CSP)三个子会议,涵盖计算流体力学、传热传质、多相流以及能源系统等研究方向。“最佳论文奖”评选经全体编辑从三个子会议中推选,并由组委会最终确定。
该会议论文提出了一种具有可调电磁线圈的新型磁控溅射阴极结构,并构建了包含有限元方法、流体模型与二元碰撞蒙特卡罗模拟的多物理场仿真模型,通过调控工艺参数有效提高了靶材利用率及薄膜沉积均匀性,为物理气相沉积工艺的优化设计提供了理论依据和技术支撑。
安巧如,2020年本科毕业于能源学院,保研至多尺度过程模拟实验室,2022年9月开始攻读博士,研究课题为磁控溅射均匀性的影响机理与调控。以第一作者发表SCI论文3篇,其中两篇中科院1区;以第二发明人(导师为第一发明人)申请发明专利3项,其中两项已获授权。
