专利类型：发明专利

1. 专利名称：一种微型皮拉尼计

发明人：汪学方；刘川；罗小兵；黎藜；张卓；甘志银；张鸿海；刘胜

2. 专利名称：一种微机系统的圆片级真空封装工艺

发明人：汪学方；黎藜；张卓；刘川；甘志银；张鸿海；刘胜

3. 专利名称：一种微机电系统的圆片级真空封装方法

发明人：汪学方；黎藜；张卓；刘川；甘志银；张鸿海；刘胜

4. 专利名称：MEMS圆片级真空封装横向互连结构及其制造方法

发明人：汪学方；刘川；张卓；罗小兵；甘志银；张鸿海；刘胜

特此公示十五天，对此如有异议，请于公示之日起五个工作日内向华中科技大学能源与动力工程学院学生工作办公室提出，联系电话87541745