根据《华中科技大学科技成果转化管理办法》规定，对“一种针对MOCVD系统的测量技术”成果转化相关事项公示如下：

一、成果名称及简介：

该成果包含如下2项知识产权：

（1）发明专利：一种实时测量MOCVD反应腔内气相温度的飞秒CARS系统

发明人：方海生，聂圻春，刘胜，甘志银

专利号：ZL202011538459.9

专利权人：华中科技大学

简介：本发明公开了一种实时测量MOCVD反应腔内气相温度的飞秒CARS系统，包括MOCVD腔体系统、飞秒CARS系统，所述MOCVD腔体系统上设MOCVD反应腔激光入射口和MOCVD反应腔激光出射口，所述飞秒CARS系统的激光出射口与所述MOCVD反应腔激光入射口连接，所述飞秒CARS系统的激光入射口与所述MOCVD反应腔激光出射口连接。本发明利用飞秒CARS的知识，通过飞秒激光脉冲激发MOCVD中气相分子的拉曼振动，测量CARS信号，从而得到气相分子的温度信息，这为MOCVD气相测温提供了一种全新的解决方案。主要优点在于气相测温范围大，测量精度高，响应时间短，可测量反应腔全场温度。同时飞秒CARS系统的光学回路简单，成本低。

（2）发明专利：一种液体相对介电常数的测量方法及系统

发明人：方海生，陈浩，聂圻春，高仙仙

专利号：ZL202011300376.6

专利权人：华中科技大学

简介：本发明属于液体介电常数测量相关技术领域，其公开了一种液体相对介电常数的测量方法及系统，该方法包括：将待测液体滴加至介电材料层表面，获取此时所述待测液体的液滴与所述介电材料层的第一接触角；在所述介电材料层的背面设置至少覆盖所述液滴的金属层，将所述金属层和液滴分别与电源的正极和负极连接，以对所述液滴施加电压，稳定后获取此时所述液滴与所述介电材料层的第二接触角；根据上述第一接触角和第二接触角获取所述待测液体的相对介电常数。本申请中的方法和系统操作简单，普适性广，测量精度高。

二、拟交易价格

普通许可：15万元

三、价格形成过程

经全体发明人同意，并与宁波恒普真空科技股份有限公司协商，双方同意该成果以协议定价15万元实施普通许可，许可期限5年。

特此公示，公示期15日，自2021年12月28日起至2022年1月11日。如有异议，请于公示期内以书面形式实名向我办反映。

联系人：曹老师

联系电话：87558732

科学技术发展院

2021年12月28日